智能傳感器是用嵌入式技術將傳感器與微處理器集成為一體，使其成為具有環境感知、數據處理、智能控制與數據通信功能的智能數據終端設備。其具有自學習、自診斷和自補償能力、復合感知能力以及靈活的通信能力。這樣，傳感器在感知物理世界的時候反饋給物聯網系統的數據就會更準確，更全面，達到精確感知的目的。

        在微電子學中講到，集成電路的特征尺寸越小意味著該器件的集成度越高，運行速度越快、性能越好，物聯網系統中傳感器的尺寸越小對于系統在布置時也意味著更加方便、性能更優。

        MEMS(微型電子機械系統)，利用傳統的半導體工藝和材料，集微型傳感器、微型執行器、微機械機構，以及信號處理和控制電路，直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。這種小體積、低成本、集成化、智能化傳感系統是未來傳感器的重要發展方向，也是物聯網的核心。也因此，MEMS傳感器領域成為相關企業布局的重中之重。


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